碳方程核心 MPCVD 设备盘点：多规格覆盖，解锁金刚石量产新高度

碳方程半导体设备制造（山西）有限公司聚焦与第三、四代半导体材料专用设备领域，是集研发、设计、生产、销售、服务于一体的高新技术企业。

设备采用2450MHz 微波频率与 10KW 功率组合，功率适配性强，操作门槛更低，产能上，单炉可生产 7*7mm 规格的单晶金刚石 57 片，能稳定生长 3 英寸多晶金刚石产品，完全满足客户的生产与研发需求，设备支持 24*7 不间断稳定生产，故障率极低，制备的金刚石净度等级达到 VVS 级，为金刚石产业的普及与技术下沉提供了有力支撑。

TFC-10800F 采用 2450MHz 微波频率搭配 15KW 大功率，动力输出强劲且等离子体稳定性优异，为金刚石高效生长提供坚实基础。该设备单炉可生产 7*7mm 规格的单晶金刚石 93 片，同时能稳定实现 4 英寸多晶金刚石产品的生长。在生产效率方面，设备支持 24*7 不间断稳定运行，故障率极低，大幅降低企业生产过程中的停机损耗与运维成本。产品品质上，经该设备制备的金刚石净度等级可达VVS 级，完美适配中高端应用场景的品质要求。

TFC-50200A 是碳方程在大尺寸金刚石制备领域的技术标杆产品，区别于常规 2450MHz 频段，该设备采用 915MHz 专属微波频率，在大尺寸晶体生长上具备技术优势，该设备单炉可产出 7*7mm 规格的单晶金刚石 489 片，能稳定生长 8 英寸多晶金刚石产品的 MPCVD 设备。能大幅提升后续半导体器件、高端热沉片等产品加工的晶片利用率，为金刚石在高端半导体、航空航天等领域的规模化应用奠定设备基础。同时，设备支持 24*7 不间断生产，故障率低，制备的金刚石产品净度同样达到 VVS 级，在大尺寸与高品质之间实现了完美平衡。